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| オリジナル真空用部品１ ガーネットクラスタ |
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スパッタリング装置 ＜名古屋地区窓口を開設しました。＞ TEL : 052-784-5531 メールはこちらにどうぞ。 真空蒸着装置 加熱制御、ヒータ |
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| ポンプ 計測器 部品 |
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■DH300SD DH300SD（G/M）は立上りの早い広帯域TMPを搭載させたφ300のベルジャ型高真空排気装置に蒸着源を組み込んで構成された汎用型の小型蒸着装置です。イニシャルのコストパフォーマンスに重点をおき、半導体や光学、電子部品など広範囲の用途において研究開発や準生産向けに拡張性を持たせたシステムとして構成しています。 標準仕様は抵抗加熱蒸着源タイプでSDGはガラスベルジャ、SDMはメタルベルジャ（いずれもマニュアルハンドリング）仕様となります。 ＜詳しくはこちらから＞ ■ＤＨ３００ＨＤ DH300HD（G/M）は低騒音タイプの磁気浮上型TMPを搭載したハイグレードタイプで、メインのアングルバルブと粗引きラインを配置することによりTMPの汚染を防止するとともに、ポンプを停止することなく試料交換を行うことが可能です。さらに蒸着モニタを標準装備していますので、より精度の高い膜厚制御や自動成膜を行うことも可能となります。 拡張性、操作性、安全性はSDタイプ同様に充実しています。 ＜詳しくはこちらから＞ 仕様の追加については別表の主要オプションのほかに、基板加熱・駆動やガス導入などご希望の機能・構成についてもお気軽にご相談下さい
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